2023秘闻盘点:电子产品质量标准,乙硅烷化学式
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气体圈子简讯：芜湖市获批主导制定全国首个电子级乙硅烷行业标准。
近日工业和信息化部下达2023年第一批行业标准制修订和外文版项目计划。5月29日从芜湖市市场监管局获悉，由安徽亚格盛电子新材料有限公司芜湖市标准化研究院联合申报制定的《电子级乙硅烷》行业标准获批立项。
电子级乙硅烷是半导体用电子特气，主要应用于非晶硅生长、外延生长、化学气相沉积、扩散、离子注入等工艺中，广泛应用在半导体、集成电路、太阳能电池等领域。
该行业标准适用于硅化镁法(小松法)、硅烷直接合成法、六氯乙硅烷还原法。制备的电子级乙硅烷将填补电子级乙硅烷产品标准空白，明确电子级乙硅烷的技术指标，规范不同研制单位，对产品质量的控制要求，有助于国产乙硅烷的推广和应用，从而支撑国内半导体产业链的快速发展。
据悉该行业标准是市标准化院服务战略新兴产业，高质量发展，推动企业在科技成果转化为技术标准上的重要突破，也是芜湖市获批建设安徽省标准化创新中心(半导体用前驱体材料)后的一项重要成果，为推进半导体用前躯体材料标准化研究与应用打开了局面。